适用范围Applicability |
本标准规定了P型单晶硅片的电性能、外观尺寸、外观质量技术要求、标志、包装、存储等规定。 本标准适用于P型158.75mm×158.75mm、166mm×166mm、182mm×182mm及210mm×210mm太阳能级S 单晶硅片的检验。 |
术语Terms |
硅片厚度：硅片中心点厚度为硅片的标称厚度。 总厚度变化（TTV:TotalThicknessVariation）：硅片的厚度最大值与最小值之差，称作硅片的总厚度变化。 弯曲度：硅片中心面偏离基准平面的距离，该距离表示硅片的弯曲度。 崩边（硅落/硅脱）：硅片边缘呈现的单面局部破损称为崩边，也称为硅落，硅脱。 缺口：硅片边缘呈现贯穿两面的局部破损称为缺口。 裂纹：硅片内部存在的细小的裂缝。 锯痕：硅片在切割过程中产生的切割痕迹，称为锯痕，又称为线痕。 沾污：硅片表面上肉眼裸视可见的各种外来异物的统称。 孔洞：贯穿硅片两面的无规则、大小不等的小孔。 翘曲：硅片表面扭曲的形变量与中心轴之间的差值（可以理解为局部正弦波波峰与波谷的距离）。 亮线：硅片表面锯痕深度小于15μm，肉眼可分辨其亮度明显高于正常硅片表面颜色的条状物或块状物。 划伤：硅片表面锯痕深度小于15μm，肉眼可分辨其亮度明显高于正常硅片表面颜色的片状物。 |
品名 | 金刚线切割硅片 | P型S单晶硅片规格书 |
Electric&Chemical电性能及化学性能 |
项目 | 规格 | 检测方法或依据 |
Dopant掺杂剂 | Gallium | ASTMF42 |
DislocationDensity 位错密度 | ≦500/cm2 | 金相显微镜 |
CarbonConcentration 碳含量 | Max5.0E16atoms/cm3 | FIRT(红外探测) |
OxygenConcentration 氧含量 | Max8.0E17atoms/cm3 | FIRT（红外探测） |
Resistivity 电阻率 | 0.4-1.1Ω.cm | 硅检机 |
Conductivitytype 导电类型 | P型 | P/N测试仪 |
CrystalOrientation 晶向 | 100)±3° | X射线定向仪器 |
Lifetime(Bricklevel) 少子寿命 | ≧75us | Sinton少子寿命测试仪 |
Crystalimperfection 晶体缺陷 | 孔洞、应力、孪晶、黑心、同心圆、黑角等 不允许 | 硅片分选机/PL测试仪 |
LID光致衰減 | ≦1.5% | 5KWH/㎡ |
GeometricalProperties规格类型 |
项目 | G1 | M6 | M10 | G12 | 测试方法 |
边长(mm) | 158.75±0.25 | 166±0.25 | 182±0.25 | 210±0.25 | 硅检机 |
直径(mm) | 223±0.25 | 223±0.25 | 247±0.25 | 295±0.25 | 硅检机 |
圆弧长度(mm) | 1.5±0.5 | 12.0±0.5 | 10.62±0.5 | 2.0±0.5 | 硅检机 |
弦长投影(mm) | 1.07±0.5 | 8.55±0.5 | 7.51±0.5 | 1.41±0.5 | 硅检机 |
倒角偏差(mm) | <0.4 | <0.4 | <0.4 | <0.4 | 硅检机 |
垂直度（°） | 90°±0.2 | 90°±0.2 | 90°±0.2 | 90°±0.2 | 硅检机 |
GeometricalProperties外观特性 |
项目 | 规格 | 测试方法 |
Thickness(T) 中心厚度 | 160+20/-10 Average>160 | 硅检机 |
TTV 总厚度变化 | ≤27um | 硅检机 |
Bow&Warping 弯曲&翘曲度 | ≤40um | 硅检机 |
Sawmarks 线痕 | 深度（单位：μm）硅检机 ≤13 | 硅检机 |
硅晶脱落、缺口、孪晶、 裂纹、沾污、针孔 [surface breakage chips,edge (indents), crack, twin crystal, crack, stain,pinhole] | 不允许 | Nakedeyes 目测 硅检机 |
Indentation 崩边 | 长≤0.5mm，深 ≤0.3mm，每片 不能超过2个， 无有V型崩边 | Nakedeyes 目测 硅检机 |
Surfacequality 表面质量 | Cleaned, greasestains 表面洁净，没有 油污 | Nakedeyes 目测 硅检机 |
Package 包装 | 600pcs/package 600片/盒 | 每100片用硫酸纸及隔板隔开 |
Labels 标识 | Neutralor Customer requirements 中性或客户指定 |
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